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| 300mm硅单晶的生长技术 | |
| 作者姓名： | 张果虎 吴志强 方锋 秦福 常青 周旗钢 屠海令 |
| 作者单位： | 北京有色金属研究总院, |
| 摘 要： | 讨论了300mm硅单晶的工艺控制，分析了拉晶工艺、热屏及磁场对晶体质量的影响。合理的工艺参数是拉制无位错单晶的前提，热屏和磁场的应用有效地控制了晶体的氧含量和微缺陷。 |
| 关 键 词： | 300mm 硅单晶 热屏 磁场 |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ | |
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