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| 纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计 | |
| 引用本文： | 陈兢,刘理天,李志坚.纹膜结构微麦克风的动态特性:使用EDA/CAD工具进行Top-down设计[J].半导体学报,2001,22(7). |
| 作者姓名： | 陈兢 刘理天 李志坚 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所, |
| 摘 要： | 综合使用通用电路模拟软件PSPICE和有限元分析软件ANSYS对一种硅基微麦克风进行了系统模拟.得到了各项参数的优化值,优化后的微麦克风在音频范围内具有平直的响应.在此基础上,提出了一种Top-down的优化设计方式以准确预测系统的行为,分析了各组件的相互作用及其对系统性能的影响. |
| 关 键 词： | MEMS CAD 动态特性 微麦克风 纹膜 |
Dynamic Behaviour of Miniature Microphone with Corrugated Membrane:Top-down Design with EDA/CAD |
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