| 钇钡铜氧半导体薄膜的宽光谱响应特性 |
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| 引用本文： | 万春明,刘向东,孙强,李艳红,刘景和,李建立,李国栋,黄宗坦,黄承彩,李丹,黄江平.钇钡铜氧半导体薄膜的宽光谱响应特性[J].半导体学报,2001,22(11). |
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| 作者姓名： | 万春明 刘向东 孙强 李艳红 刘景和 李建立 李国栋 黄宗坦 黄承彩 李丹 黄江平 |
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| 作者单位： | 1. 长春光学精密机械学院,长春,130022
2. 昆明物理所,昆明,650023 |
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| 基金项目： | 中国兵器工业总公司资助项目 |
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| 摘 要： | 对以Si为衬底的钇钡铜氧(分子式:Y1Ba2Cu3O7-δδ≥0.5,简称:YBCO)半导体薄膜的宽光谱响应特性进行了研究.采用该薄膜作灵敏元的单元测辐射热计分别对红外波段(1-15μm)、亚毫米波段(5个波长)及毫米波(3mm)进行光谱响应测试,结果表明这种半导体探测器不仅在红外波段,而且在亚毫米波甚至毫米波段都有良好的响应特性.该薄膜是继VO2薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料.
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| 关 键 词： | 钇钡铜氧半导体薄膜 测辐射热计 宽光谱响应 |
Broad Spectral Response Characteristics of Semiconducting YBCO Thin Film |
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