一个新的pMOSFET栅电流退化模型 |
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引用本文: | 张进城,郝跃,朱志炜,刘海波.一个新的pMOSFET栅电流退化模型[J].半导体学报,2001,22(10). |
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作者姓名: | 张进城 郝跃 朱志炜 刘海波 |
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作者单位: | 西安电子科技大学微电子所, |
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摘 要: | 研究了最大栅电流应力(即pMOSFET最坏退化情况)下pMOSFET栅电流的退化特性.实验发现,在最大栅电流应力下,pMOSFET栅电流随应力时间会发生很大下降,而且在应力初期和应力末期栅电流的下降规律均会偏离公认的指数规律.给出了所有这些现象的详细物理解释,并在此基础上提出了一种新的用于pMOSFET寿命评估的栅电流退化模型.
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关 键 词: | pMOSFET 热载流子退化 栅电流退化模型 |
A New Degradation Model of Gate Current of pMOSFET |
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