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低功耗IGBT(LPL-IGBT)及其仿真
引用本文:吴郁,陆秀洪,亢宝位,王哲,程序,高琰.低功耗IGBT(LPL-IGBT)及其仿真[J].半导体学报,2001,22(12).
作者姓名:吴郁  陆秀洪  亢宝位  王哲  程序  高琰
作者单位:北京工业大学电子信息与控制学院,北京100022
摘    要:提出了一种新结构的IGBT,取名为低功耗IGBT(LPL-IGBT),它具有离子注入形成的超薄且轻掺杂的背P型发射区,从而具有NPT-IGBT的优点;同时具有由衬底预扩散残留层构成的n型缓冲层,又具有PT-IGBT的优点.计算机仿真结果证明,它的关断损耗比PT-IGBT和NPT-IGBT降低一倍左右.它的结构比FSIGBT更适合于实际生产.

关 键 词:PT-IGBT  NPT-IGBT  通态压降  关断损耗

A Novel Low Power Loss IGBT (LPL-IGBT) and Its Simulation
Abstract:
Keywords:
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