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| Mach-Zehnder型有机极化聚合物电光调制器 | |
| 引用本文： | 杨晓红,杜云,石志文,吴荣汉. Mach-Zehnder型有机极化聚合物电光调制器[J]. 半导体学报, 2001, 22(8) |
| 作者姓名： | 杨晓红 杜云 石志文 吴荣汉 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心, |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
| 摘 要： | 制备了一种以三层聚合物为波导材料的Mach-Zehnder型电光调制器，其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料．主要制备工艺为：旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻蚀．以1.3μm和1.55μm半导体激光器为光源,以光纤耦合输入脊波导调制器，从输出端得到很好单模近场图,其中从Y型两分支波导输出的光强基本相同．同时在示波器中得到清晰的调制信号． |
| 关 键 词： | 极化聚合物 MZ波导 电光调制器 |
Mach-Zehnder Electro-Optic Polymer Modulator with Corona Poled Core Layer |
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| Keywords: | |
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