FSI国际宣布带有ViPR^TM技术的ZETA喷雾式清洗系统己完成200mm制造工艺验证

全球领先的微电子制造表面处理设备供应商FSI国际有限公司近日宣布其带有ViPR“技术的ZETA喷雾式清洗系统现已提供200mm晶圆工艺，并且已有一家亚洲客户将该项技术成功应用干200mm制造之中。FSI的ViPR技术起初为300mm高级技术推出，该项技术凭借一步湿法工艺成功剥离高注入光刻胶的能力，破许多300mm晶圆厂采用。