| 微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟 |
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| 引用本文： | 车录锋,熊斌,黄小振,王跃林. 微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟[J]. 固体电子学研究与进展, 2003, 23(4): 496-499 |
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| 作者姓名： | 车录锋 熊斌 黄小振 王跃林 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 国家 973项目“集成微光机电系统研究”的资助 (课题编号 :G19990 3 3 10 1) |
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| 摘 要： | 根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型 ,并通过电路模拟工具 PSPICE对模型进行验证。利用该模型与接口电路的混合模拟 ,可以分析陀螺整个系统的工作性能。模拟分析的结果验证了该模型可以应用于微机械陀螺接口电路的设计和优化
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 传感器模型 接口电路 模拟 |
| 文章编号： | 1000-3819(2003)04-496-04 |
| 修稿时间： | 2001-11-26 |
Mixed Simulation of Micromachined Gyroscope's Sensor Model and Interfacing Circuits |
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| CHE Lufeng XIONG Bin HUANG Xi aozhen WANG Yuelin. Mixed Simulation of Micromachined Gyroscope's Sensor Model and Interfacing Circuits[J]. Research & Progress of Solid State Electronics, 2003, 23(4): 496-499 |
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| Authors: | CHE Lufeng XIONG Bin HUANG Xi aozhen WANG Yuelin |
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| Abstract: | Sensor electrical model of vibratory micromachined gyrosc ope is established according to its dyna mics equation, which combine the sensor' s oscillating properties and electrical properties. The model is implemented in the circuit simulation tool PSPICE. The model also enables the sensor simulation with the interfacing circuits to analyz e performanes of the whole system. Simul ated results show that the model may be applied in design and optimum of testing circuits. |
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| Keywords: | micromachined gyroscope sensor model interfacing circuits si mulation |
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