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| 热丝CVD金刚石薄膜制备及碳纳米管形核作用的研究 | |
| 引用本文： | 侯亚奇,庄大明,等.热丝CVD金刚石薄膜制备及碳纳米管形核作用的研究[J].真空科学与技术,2002,22(1):53-57. |
| 作者姓名： | 侯亚奇 庄大明 |
| 作者单位： | 清华大学机械工程系，北京100084 |
| 摘 要： | 利用热丝化学气相沉积法（HF－CVD）进行了金刚石薄膜制备和碳纳米管形核作用的研究。获得了制备金刚石薄膜的优化工艺参数。利用碳纳米管作为形核前驱获得了高质量的金刚石薄膜，其沉积速率可达2．5μm/h，晶粒生长完善，而且没有出现聚晶现象。研究了碳纳米管涂料质量对薄膜沉积特性的影响，并对其机理进行了初步探讨。 |
| 关 键 词： | 金刚石薄膜 热丝化学气相沉积 碳纳米管 形核前驱 制备 成膜质量 沉积速率 |
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