| 脉冲激光沉积法制备ITO薄膜及性质研究 |
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| 引用本文： | 杨亚军,李清山,刘宪云.脉冲激光沉积法制备ITO薄膜及性质研究[J].四川激光,2007,28(1):81-82. |
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| 作者姓名： | 杨亚军 李清山 刘宪云 |
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| 作者单位： | 曲阜师范大学物理工程学院,山东曲阜273165 |
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| 摘 要： | 本文采用脉冲激光沉积法(PLD)制备了ITO导电薄膜,并对其形貌、光学性质和电学性质进行了研究.结果表明,使用PLD方法制备的ITO导电薄膜在可见光区的平均透光率约为80%,方块电阻在100～200Ω/□之间.当衬底温度控制在300℃,氧压控制在1.33Pa时,可以得到具有较高透光率和电导率的ITO导电薄膜.
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 ITO薄膜 透光率 方块电阻 脉冲激光沉积法 法制 导电薄膜 电学性质 研究 pulsed laser deposition thin film properties 电导率 高透光率 压控制 温度控制 方块电阻 平均透光率 可见光 使用 结果 光学性质 |
| 文章编号： | 0253-2743（2007）01-0081-02 |
| 收稿时间： | 2006-07-05 |
| 修稿时间： | 07 5 2006 12:00AM |
Preparation and properties of ITO thin film by pulsed laser deposition |
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| YANG Ya-Jun,LI Qing-Shan,Liu Xian-Yun.Preparation and properties of ITO thin film by pulsed laser deposition[J].Laser Journal,2007,28(1):81-82. |
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| Authors: | YANG Ya-Jun LI Qing-Shan Liu Xian-Yun |
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| Affiliation: | College of Physics and Engineering, Qufu Normal University, Qufu 273165, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pulsed laser deposition ITO film transmittance sheet resistance |
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