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| 分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量 | |
| 引用本文： | 张伯文.分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量[J].真空,1994(3):43-43. |
| 作者姓名： | 张伯文 |
| 作者单位： | 复旦大学 |
| 摘 要： | 分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量张伯文（复旦大学）ＶａｃｕｕｍＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｄｕｒｉｎｇｔｈｅＰｒｏｃｅｓｓｏｆＣｒｙｓｔａｌＣｈｉｐＧｒｏｗｔｈｉｎｔｈｅＧｒｏｗｔｈＣｈａｍｂｅｒｏｆＭｏｌｅｃｕｌａｒＢｅａｍＥｐｉｔａｘｙ￥Ｚ... |
| 关 键 词： | 分子束 外延生长室 晶体 真空度 |
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