分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量 |
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引用本文: | 张伯文.分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量[J].真空,1994(3):43-43. |
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作者姓名: | 张伯文 |
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作者单位: | 复旦大学 |
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摘 要: | 分子束外延生长室内晶片生长过程中真空度的测量张伯文(复旦大学)VacuumMeasurementduringtheProcessofCrystalChipGrowthintheGrowthChamberofMolecularBeamEpitaxy¥Z...
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关 键 词: | 分子束 外延生长室 晶体 真空度 |
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