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垂直腔面发射激光器的新结构设计
引用本文:赵英杰,郝永芹,姜晓光,李海军,刘波. 垂直腔面发射激光器的新结构设计[J]. 长春理工大学学报(自然科学版), 2006, 29(4): 5-7
作者姓名:赵英杰  郝永芹  姜晓光  李海军  刘波
作者单位:长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022;长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022;长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022;长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022;长春理工大学,高功率半导体激光国家重点实验室,长春,130022
摘    要:设计了一种新结构垂直腔面发射激光器(VCSEL),即采用环形分布孔结构取代以往的环形沟槽结构。由于环形分布孔间形成多个桥,为电注入提供了天然的桥状通道,很好的解决了电极过沟断线问题。并且器件表现了很好的输出特性,这种新结构器件的输出功率约为以往结构器件的1.34倍。

关 键 词:半导体激光器  氧化物限制  量子阱  垂直腔面发射激光器
文章编号:1672-9870(2006)04-0005-03
收稿时间:2006-09-26
修稿时间:2006-09-26

A New Structure Design for Vertical-Cavity Surface Emitting Laser
ZHAO Yingjie,HAO Yongqin,JIANG Xiaoguang,LI haijun,LIU bo. A New Structure Design for Vertical-Cavity Surface Emitting Laser[J]. Journal of Changchun University of Science and Technology, 2006, 29(4): 5-7
Authors:ZHAO Yingjie  HAO Yongqin  JIANG Xiaoguang  LI haijun  LIU bo
Abstract:A new structure design for VCSEL is reported using perforated ring instead of ring trench.Because perforated ring offers bridges for current injection,the connecting Ti-Au metal between ohmic contact and bonding pad does not have to cross the ring trench,and it would not cause the connecting metal to be broken.In addition,these VCSELs show good output characteristics.The VCSELs with perforated ring have a light output power of 0.34 time higher than those with ring trench.
Keywords:semiconductor laser  oxide confinement  quantum well  vertical-cavity surface emitting laser
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