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不同温度硅纳米薄膜在表面重构下杨氏模量的分子动力学研究
引用本文:王雅斌,于虹,谭一云.不同温度硅纳米薄膜在表面重构下杨氏模量的分子动力学研究[J].纳米科技,2009,6(2):8-12.
作者姓名:王雅斌  于虹  谭一云
作者单位:东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏南京210096
基金项目:基金项目:国家重点基础研究计划(973)资助课题(2006CB300404)
摘    要:采用分子动力学方法计算了100K到800K之间(001)面硅纳米薄膜(1nm,2nm厚)110]与1—10]两个方向上的杨氏模量。2×1表面重构形成了dimmer键,使110]方向杨氏模量大于1—10]方向杨氏模量。纳米薄膜的杨氏模量随着温度升高而下降。热膨胀导致了温度效应。当尺度到达纳米尺度,表面重构和温度效应更加明显。

关 键 词:分子动力学  杨氏模量  表面重构  温度效应
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