不同温度硅纳米薄膜在表面重构下杨氏模量的分子动力学研究 |
| |
作者姓名: | 王雅斌 于虹 谭一云 |
| |
作者单位: | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
| |
基金项目: | 基金项目:国家重点基础研究计划(973)资助课题(2006CB300404) |
| |
摘 要: | 采用分子动力学方法计算了100K到800K之间(001)面硅纳米薄膜(1nm,2nm厚)[110]与[1—10]两个方向上的杨氏模量。2×1表面重构形成了dimmer键,使[110]方向杨氏模量大于[1—10]方向杨氏模量。纳米薄膜的杨氏模量随着温度升高而下降。热膨胀导致了温度效应。当尺度到达纳米尺度,表面重构和温度效应更加明显。
|
关 键 词: | 分子动力学 杨氏模量 表面重构 温度效应 |
本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录! |
|