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| 金刚石膜的制作 | |
| 摘 要： | 制作金刚石膜主要采用等离子体化学气相沉积法(CVD)和离子束物理气相沉积法(PVD)。圆筒谐振器型微波等离子体化学气相沉积装置是一种结构简单的制膜装置。谐振器为直径200mm、全长300mm的圆筒。谐振器轴向长度通过左右的插销式螺钉的移动来调节。将磁控管(2.45GHz)直接安装在谐振器的圆筒壁中央,与微波回路连接, |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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