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| 新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作 | |
| 引用本文： | 夏善红,刘加,陈绍凤,韩泾鸿,崔大付.新型真空微电子压力传感器特性研究和实验制作[J].半导体学报,1997,18(12):901-906. |
| 作者姓名： | 夏善红 刘加 陈绍凤 韩泾鸿 崔大付 |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室!北京，100080，清华大学电子工程系!北京，100084，中国科学院电子学研究所!北京，100080，中国科学院电子学研究所!北京，100080，中国科学院电子学研究所!北京，100080 |
| 摘 要： | 本文提出并研究了新型的“台阶阴极”和“曲面阴极”真空微电子压力传感器，与普通的真空微电子压力传感器相比，新型传感器的阴极发射电流大大提高，使得输出信号易于检测，抗噪声能力增强，并在改善输出信号线性、提高灵敏度和扩展量程方面有很大优势．本文绘出了计算机模拟结果，简述了台阶阵列阴极和阳板压力敏感膜的制作，并展示了SEM照片． |
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