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| 一种抗大过载微型加速度计研究 | |
| 引用本文： | 曾昭君,石进杰.一种抗大过载微型加速度计研究[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 曾昭君 石进杰 |
| 摘 要： | 讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理; 设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性; 进而利用ANSYS对器件进行模态分析, 找出结构上应变最大的位置, 并对结构尺寸进行优化; 提供一种可能的电路版图说明,并对加速度计的灵敏性进行理论分析; 最后提供一种可行的加工工艺方法. |
| 关 键 词： | 加速度计 MEMS 大过载 ANSYS |
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