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| 采用电子束检测技术辅助晶体管开发 | |
| 引用本文： | Alexander E．Braun.采用电子束检测技术辅助晶体管开发[J].集成电路应用,2006(5):25-25. |
| 作者姓名： | Alexander E．Braun |
| 作者单位： | Semiconductor International |
| 摘 要： | 涉足尖端技术研究工作的芯片制造商正在把无数新材料和奇特的器件结构结合起来,用于65nm及更低节点的量产。同时他们发现,在这些研究上的努力生产的结果还包括目前必须着手解决各器件各个层上出现的 |
| 关 键 词： | 检测技术 晶体管 电子束 开发 磷硅酸盐玻璃 器件结构 尖端技术 应变硅 缺陷 新材料 |
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