| 离子注入机中行星传动扫描靶的设计 |
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| 引用本文： | 娄琳,沈煜,刘东亮,杜玉明. 离子注入机中行星传动扫描靶的设计[J]. 机械工程师, 2006, 0(6): 93-93 |
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| 作者姓名： | 娄琳 沈煜 刘东亮 杜玉明 |
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| 作者单位： | 1. 漯河职业技术学院,机电工程系,河南,漯河,462000
2. 天津大学,机械工程学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 将行星传动机构应用于离子注入机中,使得受注物体受注均匀,明显提高了产品的表面质量。
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| 关 键 词： | 离子注入机 行星传动 |
| 文章编号： | 1002-2333(2006)06-0093-01 |
| 收稿时间： | 2006-01-12 |
| 修稿时间： | 2006-01-12 |
Design of Planet Transmission Scanning Target in Ion Implantation Machine |
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| Lou Lin;Shen Yu;Liu DongLiang;Du YuMing. Design of Planet Transmission Scanning Target in Ion Implantation Machine[J]. Mechanical Engineer, 2006, 0(6): 93-93 |
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| Authors: | Lou Lin Shen Yu Liu DongLiang Du YuMing |
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