|
|||||
|
|
| MEMS微齿型尺蠖驱动器的研究进展 | |
| 引用本文： | 张兆成,胡泓.MEMS微齿型尺蠖驱动器的研究进展[J].微特电机,2008,36(10). |
| 作者姓名： | 张兆成 胡泓 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,黑龙江哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用,该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点,是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向. |
| 关 键 词： | 尺蠖驱动器 MEMS微齿 镍钛合金层 |
Research Progress of Inchworm Actuator with MEMS Teeth |
|
| ZHANG Zhao-cheng,HU Hong.Research Progress of Inchworm Actuator with MEMS Teeth[J].Small & Special Electrical Machines,2008,36(10). | |
| Authors: | ZHANG Zhao-cheng HU Hong |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ | |