| 硅热流量传感器的研究与发展 |
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| 引用本文： | 张昭勇 秦明 黄庆安. 硅热流量传感器的研究与发展[J]. 电子器件, 2001, 24(1): 41-47 |
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| 作者姓名： | 张昭勇 秦明 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子中心, |
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| 摘 要： | 本文详细地介绍了硅热流量传感器的工作原理并对它进行了细致的分类，同时概括了其发展和应用情况，最后对其目前发展过程中一些尚待解决的问题及其未来的发展趋势进行了讨论。
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| 关 键 词： | 硅热流量传感器 工作原理 流量测量 |
| 文章编号： | 1005-9490(2001)01-0041-07 |
| 修稿时间： | 2001-01-11 |
Research and Development of Silicon Thermal Flow Sensor |
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| ZHANG Zhaoyong,QIN Ming,Huang Qingan. Research and Development of Silicon Thermal Flow Sensor[J]. Journal of Electron Devices, 2001, 24(1): 41-47 |
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| Authors: | ZHANG Zhaoyong QIN Ming Huang Qingan |
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| Abstract: | The principles and applications of a silicon thermal flow sensor are introduced in detail. The challenges for the development of the sensor are discussed and the future direction is also presensted. |
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| Keywords: | silicon thermal flow sensor MEMS |
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