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| 溅射离子泵电流采样方法监测超高真空系统 | |
| 作者姓名： | 刘松强 王勇 |
| 作者单位： | 中国科技大学近代物理系!合肥230026(刘松强)，国家同步辐射实验室!合肥230029(王勇) |
| 摘 要： | 介绍用溅射离子泵的电流采样来监测大型超高真空系统的原理和方法，并介绍新设计的一种具体电路。讨论了其特点和使用中的注意事项。 |
| 关 键 词： | 溅射离子泵电流 真空监测系统 采样 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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