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| 离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性 | |
| 引用本文： | 常增坡,唐柏森.离子束溅射薄膜压力传感器的动态特性[J].传感器与微系统,2001,20(6):15-17. |
| 作者姓名： | 常增坡 唐柏森 |
| 作者单位： | 中国航天科技集团公司第701研究所, |
| 摘 要： | 用数学建模的方法将相同结构参数的离子束溅射薄膜压力传感器和粘贴式应变计压力传感器动态特性做比较 ,二者在瞬态特性上基本相同。但在宽脉冲方波气压激励下 ,所用溅射薄膜压力传感器出现响应失真现象。对问题的产生原因和机理进行分析 ,认为问题的产生原因可能在于方波压力上升沿导致的被测气体温度变化。 |
| 关 键 词： | 溅射薄膜压力传感器 瞬态特性 方波压力 响应失真 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)06-0015-03 |
| 修稿时间： | 2000年10月21日 |
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