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| HP—602型精密自动划片机误差分析与精度分配 | |
| 引用本文： | 王明权.HP—602型精密自动划片机误差分析与精度分配[J].电子工业专用设备,1999,28(2):18-22. |
| 作者姓名： | 王明权 |
| 作者单位： | 信息产业部电子第四十五研究所 |
| 摘 要： | 分析划片机各种精度误差对ＩＣ晶片划切质量的影响；分配划片机各功能部件精度。 |
| 关 键 词： | 划线槽 误差分析 功能部件 精度分配 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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