抗磁悬浮原理在执行与传感方面的应用研究及发展 |
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作者单位: | ;1.郑州大学机械工程学院;2.安阳鑫盛机床股份有限公司 |
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摘 要: | 抗磁悬浮是利用物质对磁场的排斥力实现磁悬浮,作为磁悬浮技术的一个分支,是一种真正意义上的无接触悬浮。按照不同的应用领域,从传感器、执行器、能量采集器、生物科学以及自组装等方面对抗磁悬浮结构进行了具体的介绍,概述了抗磁悬浮在各个领域的工作原理、结构组成以及适用范围,分析了抗磁悬浮发展现状及应用前景。研究得出抗磁悬浮具有室温下无源工作、自主稳定悬浮以及适宜在微器件尺度下使用等优点,其系统简单、可靠性高、系统体积小且质量轻,在工程技术上有重大的意义。
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关 键 词: | 抗磁悬浮 磁悬浮 微器件 传感 微电子机械系统(MEMS) |
Application Research and Development of Diamagnetic Levitation Principle in Actuation and Sensing |
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