| 一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计 |
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| 引用本文： | 张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军.一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计[J].微纳电子技术,2019(7):535-541. |
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| 作者姓名： | 张小勇 沈倪鑫 尚珍珍 纪松祥 张国军 |
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| 作者单位： | 1.中北大学动态测试省部共建实验室;2.太原学院计算机工程系 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划项目(2016YFC0101900);山西省应用基础研究计划(201701D121067);山西省高等学校科技创新项目(201804011) |
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| 摘 要： | 基于仿生学原理,设计了一种仿侧线神经丘的微电子机械系统(MEMS)矢量水听器。该水听器采用环形纤毛模拟鱼类侧线神经丘中的纤毛束与胶质顶,通过4个十字梁与集成在梁上的压敏电阻将声信号转换为电阻变化量,由电阻构成Wheatstone电桥将电阻变化量转换为电压信号。使用ANSYS软件对水听器结构进行了仿真,得到环形纤毛的结构参数。制作了水听器样机,通过比较校准法进行测试。测试结果表明该水听器带宽为20~1 000 Hz,灵敏度达到了-179.81 dB@1 kHz,在带宽内较单个十字梁与纤毛结构的纤毛式矢量水听器平均提高了15.55 dB,测试结果与仿真结论基本一致。
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| 关 键 词： | 矢量水听器 仿生学 灵敏度 纤毛结构 神经丘 |
Design of a MEMS Vector Hydrophone Imitating Neuromast of Lateral Line |
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| Zhang Xiaoyong,Shen Nixin,Shang Zhenzhen,Ji Songxiang,Zhang Guojun.Design of a MEMS Vector Hydrophone Imitating Neuromast of Lateral Line[J].Micronanoelectronic Technology,2019(7):535-541. |
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| Authors: | Zhang Xiaoyong Shen Nixin Shang Zhenzhen Ji Songxiang Zhang Guojun |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Dynamic Testing Technology,North University of China , Taiyuan 030051 , China;Department of Computer Engineering ,Taiyuan University , Taiyuan 030032, China) |
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| Abstract: | Zhang Xiaoyong;Shen Nixin;Shang Zhenzhen;Ji Songxiang;Zhang Guojun(State Key Laboratory of Dynamic Testing Technology,North University of China , Taiyuan 030051 , China;Department of Computer Engineering ,Taiyuan University , Taiyuan 030032, China) |
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| Keywords: | vector hydrophone bionics sensitivity cilia structure neuromast |
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