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| 金刚石表面离子束金属化研究 | |
| 引用本文： | 李国卿,黄宁表.金刚石表面离子束金属化研究[J].半导体情报,1998,35(5):44-47. |
| 作者姓名： | 李国卿 黄宁表 |
| 摘 要： | 采用离子束增强沉积技术对金刚石热沉材料表面金属化进行了研究，制备了Ｔｉ／Ｎｉ／ＡｕＩｎ和ＣＵ／ＡｕＩｎ金属化体系。采用俄歇、ＥＤＳ、ＸＲＤ和ＳＣＲＡＴＣＨ方法对膜层和界面进行了分析。 |
| 关 键 词： | 金刚石 表面金属化 离子束增强沉积 |
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