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溅射制备ZnS:Er^3+薄膜的光电子发射结构
作者姓名:
柳兆洪 王余美
摘 要:
利用射频磁控溅射法制备掺铒硫化锌直流电致发光薄膜,用XPS(X射线光电子能谱)技术进行剖析,获得薄膜内部构态与发光性能关系的信息,讨论了微晶薄膜中稀土掺杂状态对激发机制的影响。
关 键 词:
电致发光薄膜 射频磁控溅射 X射线 光电子能谱
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