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| 超薄层材料生长技术 | |
| 引用本文： | 孙再吉.超薄层材料生长技术[J].半导体情报,1998,35(1):13-31. |
| 作者姓名： | 孙再吉 |
| 摘 要： | 半导体超薄层材料的研究，依赖于先进的外延生长技术本文着重该领域的ＭＢＥ，ＭＯＣＶＤ，ＣＢＥ和ＡＬＥ的发展现状及关键技术作一综述。 |
| 关 键 词： | 超薄层材料 外延生长 生长机理 半导体 |
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