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微型传感器及纳米传感器
作者姓名:武俊齐
摘    要:综述了微型传感器及内米传感器的发展现状,叙述了微型传感器技术的发展趋势及其关键技术,并介绍了微型传感器技术在军事领域中的应用情况。

关 键 词:微型传感器 纳米传感器 微机械加工技术
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