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| 金刚石表面气相外延单晶金刚石薄膜新技术 | |
| 引用本文： | 张战,李嘉.金刚石表面气相外延单晶金刚石薄膜新技术[J].炭素,1993(1):36-40. |
| 作者姓名： | 张战 李嘉 |
| 作者单位： | 机电部郑州磨料磨具磨削研究所 (张战，李嘉，孙振武)，机电部郑州磨料磨具磨削研究所(马丽莹) |
| 摘 要： | 用氢气、丙酮蒸汽为源气体,通过微波增强的化学气相沉积方法,实现了在金刚石表面气相外延生长单晶金刚石薄膜。并通过扫描电镜(SEM)、显微激光喇曼光谱及反射电子衍射(RED)分析,初步完成了对单晶外延金刚石薄膜的品质鉴定。从外延形貌照片中观察到了外延生长台及生长螺线。着重叙述外延生长金刚石薄膜的试验方法及其关键。 |
| 关 键 词： | 金刚石 表面 气相外延 单晶 薄膜 |
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