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杂志ISSN号
电荷陷阱对器件稳定性的影响和监测电荷陷阱密度方法
作者姓名:
顾瑛 张德胜
作者单位:
西安电子科技大学(顾瑛,张德胜),西安电子科技大学(张民强)
摘 要:
本文论述了电荷陷阱对器件稳定性的影响;认为在器件制造过程中监测电荷陷阱密度是很重要的.本文介绍了雪崩注入法测量电荷陷阱密度的方法,并给出了测量结果.
关 键 词:
器件 稳定性 电荷陷阱 陷阱密度
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