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| 光学面形检测仪 | |
| 作者姓名： | 苗静 |
| 摘 要： | 该仪器采用相移式横向剪切干涉技术,是一种数字波面测试技术.其原理是将相干两个剪切波面中的一个波面作阶梯式或连续变化,从而使干涉场中的干涉条纹作阶梯式或连续式扫描. |
| 关 键 词： | 检测仪 面形 光学 剪切波面 干涉技术 横向剪切 连续变化 测试技术 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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