| 多弧离子镀TiCrSiCN硬质薄膜的微观结构与摩擦学性能 |
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| 引用本文： | 郭岩,叶智,徐勃,杨文涛,张童童,张少勇,祖平文,田树高,聂海军.多弧离子镀TiCrSiCN硬质薄膜的微观结构与摩擦学性能[J].电镀与涂饰,2019,38(21). |
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| 作者姓名： | 郭岩 叶智 徐勃 杨文涛 张童童 张少勇 祖平文 田树高 聂海军 |
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| 作者单位： | 华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030;华电电力科学研究院有限公司,浙江 杭州,310030 |
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| 摘 要： | 采用工业型多弧离子镀设备在4Cr5MoSiV1工业钢表面沉积TiCrSiCN硬质薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、显微硬度计、划痕仪和摩擦磨损仪分析了TiCrSiCN薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学性能。结果表明,TiCrSiCN薄膜为纳米晶和非晶的复合结构,其中的Ti(CN)和CrN纳米晶可显著提高硬度和耐磨性,而非晶相Si3N4与C起到减摩作用。高Cr和C含量的薄膜硬度高,与基材的结合力强,干滑动摩擦因数、干滑动磨损率和微磨料磨损率都明显降低,耐磨减摩效果好。
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| 关 键 词： | 钛铬硅碳氮 薄膜 多弧离子镀 微观结构 硬度 结合力 摩擦磨损行为 |
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