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降低高纯铟中杂质锡含量的方法研究
引用本文:雷聪.降低高纯铟中杂质锡含量的方法研究[J].东方电气评论,2019,33(4).
作者姓名:雷聪
作者单位:峨嵋半导体材料研究所,四川 峨眉山,614200
摘    要:以4N(99.99%)的铟为原料,通过电解精炼、中频冶炼、区熔熔炼和真空蒸馏的工艺提纯方法,来验证高纯铟产品中杂质锡的含量,产品需要满足Sn≤0.3ppm。使用GDMS的分析检测方法来判定铟中的杂质锡含量。结果表明,真空蒸馏的方法对铟中杂质锡含量降低效果明显,杂质Sn含量低于0.1ppm。

关 键 词:铟中杂质锡含量  真空蒸馏  电解精炼  区熔提纯
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