| 微气压传感器测试系统的真空自动控制研究 |
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| 引用本文： | 金仁成,陈涛,张五金,唐祯安.微气压传感器测试系统的真空自动控制研究[J].微纳电子技术,2007(8). |
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| 作者姓名： | 金仁成 陈涛 张五金 唐祯安 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁,大连,116023 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁,大连,116023 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统工程重点实验室,辽宁,大连,116023 |
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| 摘 要： | 针对微热板式微气压传感器的动、静态性能测试,建立了一套保持真空度稳定的控制系统.参考MATLAB的仿真结果,分别采用模糊控制与模糊PID控制算法设计出控制器,对传感器测试系统的真空度进行了实时控制研究,探讨并分析了真空度动态平衡的控制问题.结果显示,调整系统控制量的模糊PID控制稳态误差小、鲁棒性比较好,可以有效地对测试环境进行真空度调节和设置,能够解决传感器所需气压测试环境10～1000Pa的实时气压控制问题.
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| 关 键 词： | 微气压传感器 真空度平衡 实时控制 模糊PID控制 |
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