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| 铁杂质对微氮硅中氧沉淀的影响 | |
| 引用本文： | 张溪文,杨德仁,阙端麟.铁杂质对微氮硅中氧沉淀的影响[J].半导体学报,1998,19(5):381-384. |
| 作者姓名： | 张溪文 杨德仁 阙端麟 |
| 作者单位： | 激荡大学硅材料科学国家重点实验室 |
| 摘 要： | 通过研究微氮掺铁硅单晶的氧沉淀行为，发现低温预处理有助于高温退火时的氧沉淀，且氮、铁杂质均对氧沉淀有明显促进作用．首次发现氮杂质部分抑制了铁对氧沉淀的促进作用． |
| 关 键 词： | 微氮硅 氧沉淀 铁杂质 大规模集成电路 |
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