液态金属离子源的流体力学分析

一、引言 近年来,液态金属离子源(Liquid—metal ion source,以下简称LMIS)在离子束超微细加工,离子束无掩膜注入以及二次离子质谱、扫描离子显微镜等方面得到广泛应用。它具有高亮度、点发射、无气体负载、结构简单、长寿命等一系列优点。从七十年代末以来,国外对LMIS进行了大量的实验研究,已经出现多种单质源与合金源。但相比之下,对LMIS的理论研究一直处于探索之中。先后提出了一些理论分析方法,都尚未能对LMIS的工作过程给出圆满解释,而某些观点至今仍在争议之中。