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基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路
引用本文:柴光飞,刘民,于海涛,许鹏程,徐铁刚,李昕欣.基于FPGA的谐振悬臂梁传感器智能接口电路[J].仪表技术与传感器,2013(3).
作者姓名:柴光飞  刘民  于海涛  许鹏程  徐铁刚  李昕欣
作者单位:1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海200050;中国科学院研究生院,北京100049
2. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050
基金项目:国家973项目,国家自然科学基金项目
摘    要:设计了基于FPGA的谐振式微悬臂梁传感器接口电路,将接口电路与谐振式微悬臂梁传感器组成闭环自激振荡系统.为满足接口电路智能化与输出频率稳定性的要求,设计了带有自动扫频功能的锁相环,以此锁相环为核心并结合外围放大、滤波、移相、整形电路构成的接口电路系统,能够自动扫频寻找谐振点并锁定,扫频精度为0.012 Hz左右,谐振频率的波动范围可达0.01Hz左右,且锁定范围极广.分别测试了谐振点在100kHz与500 kHz附近的两组传感器,该系统均能很好地自动扫频寻找谐振点并锁定.

关 键 词:谐振式微悬臂梁传感器  接口电路  FPGA  锁相环  自动扫频  频率跟踪

Intelligent Interface Circuit for Resonant Cantilever Sensors Based on FPGA
CHAI Guang-fei , LIU Min , YU Hai-tao , XU Peng-cheng , XU Tie-gang , LI Xin-xin.Intelligent Interface Circuit for Resonant Cantilever Sensors Based on FPGA[J].Instrument Technique and Sensor,2013(3).
Authors:CHAI Guang-fei  LIU Min  YU Hai-tao  XU Peng-cheng  XU Tie-gang  LI Xin-xin
Abstract:
Keywords:
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