| 用于光气动探测的微流量传感器 |
| |
| 引用本文： | 赵永翠,何秀丽,赵玲,李建平,高晓光,贾建.用于光气动探测的微流量传感器[J].仪表技术与传感器,2013(3). |
| |
| 作者姓名： | 赵永翠 何秀丽 赵玲 李建平 高晓光 贾建 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室,北京,100190 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划资助项目 |
| |
| 摘 要： | 针对气体红外吸收的气动探测应用,设计了基于MEMS技术的Sandwich结构硅基微流量传感器.在1 mm2面积内制备了阻值约1.6 kΩ的蛇形Pt薄膜作为加热及测温电阻,其电阻-温度系数(TCR)约2.2×10-3/℃.Pt薄膜采用4 μm厚氮化硅悬梁作支撑,在125℃工作温度下功耗约44 mW.研究了Pt薄膜电阻对的间距以及工作温度对微流量传感器性能的影响,并将其用于CO2气体检测.在0～1 mL/min的测试范围内,该微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,理论检测下限约8.5 μL/min,可用于气体红外吸收的气动探测.
|
| 关 键 词： | 非分光红外 光气动探测 微流量传感器 |
Micro-flow Sensor for Opto-pneumatic Detection |
| |
| ZHAO Yong-cui
,
HE Xiu-li
,
ZHAO Ling
,
LI Jian-ping
,
GAO Xiao-guang
,
JIA Jian.Micro-flow Sensor for Opto-pneumatic Detection[J].Instrument Technique and Sensor,2013(3). |
| |
| Authors: | ZHAO Yong-cui HE Xiu-li ZHAO Ling LI Jian-ping GAO Xiao-guang JIA Jian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
