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| MEMS传感器安全监控系统的功能安全 | |
| 引用本文： | 吴亚平.MEMS传感器安全监控系统的功能安全[J].中国仪器仪表,2008(7). |
| 作者姓名： | 吴亚平 |
| 作者单位： | 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所,北京,100055 |
| 摘 要： | 介绍MEMS传感器的特点和应用，功能安全的主要概念、原则和方法，以及对MEMS传感器构成的安全监控系统进行功能安全评估的范围和适用标准。 |
| 关 键 词： | MEMS传感器 功能安全 安全完整性等级 安全全过程 |
Functional Safety of MEMS Sensor Based on Safety Monitoring System |
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