| 压电陶瓷迟滞建模及控制仿真 |
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| 引用本文： | 王晓东,江国栋. 压电陶瓷迟滞建模及控制仿真[J]. 压电与声光, 2015, 37(6): 926-929 |
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| 作者姓名： | 王晓东 江国栋 |
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| 作者单位： | (1.中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033；,2.中国科学院大学，北京 100039) |
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| 摘 要： | 为了提高压电陶瓷驱动器在调节光学谐振腔长度时的精度,设计了一种压电陶瓷驱动系统。同时,为了改善压电陶瓷的迟滞特性,利用Duhem迟滞模型对其进行建模,利用梯度下降法对模型参数进行辨识,得到迟滞模型;并利用逆模型补偿及比例、积分、微分(PID)复合控制方法进行控制。实验结果表明,Duhem模型可以有效地拟合压电陶瓷驱动器的迟滞,在15μm的范围内,最大拟合误差小于0.2μm;同时,在复合控制下,驱动器的最大控制误差为12nm,表明该复合控制方法的有效性。
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 驱动系统 Duhem模型 梯度下降法 比例、积分、微分(PID) |
Hysteresis Modeling and Control Simulation of Piezoelectric Ceramic |
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| WANG Xiaodong and JIANG Guodong. Hysteresis Modeling and Control Simulation of Piezoelectric Ceramic[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2015, 37(6): 926-929 |
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| Authors: | WANG Xiaodong and JIANG Guodong |
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| Affiliation: | (1.Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130033, China; and 2.University of Chinese Academy of Science, Beijing 100039, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric ceramic driving system Duhem model gradient descent method PID |
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