| 基于PVDF压电膜片的光声探测器制备及应用 |
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| 引用本文： | 何国明,何秀丽,高晓光,贾建,李建平.基于PVDF压电膜片的光声探测器制备及应用[J].压电与声光,2015,37(6):973-977. |
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| 作者姓名： | 何国明 何秀丽 高晓光 贾建 李建平 |
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| 作者单位： | （1. 中国科学院电子学研究所 传感技术国家重点实验室，北京 100190；,2．中国科学院大学， 北京 100190） |
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| 基金项目： | 国家“八六三”计划基金资助项目(2009AA04Z328) |
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| 摘 要： | 非共振光声红外气体检测系统因其结构简单,成本低和检测灵敏度高的特点,具有较好的应用前景。该文提出了以聚偏氟乙烯(PVDF)压电膜片为微压敏感元件的非共振光声探测器,利用ANSYS对压电膜片进行了有限元分析,设计制备了双膜片结构微压敏感元件,其中PVDF压电膜片厚度为20μm,尺寸为10mm×5mm。设计了包含吸收腔和补偿腔的双腔室结构,并完成了光声探测器的封装。将光声探测器应用于非分光红外(NDIR)气体检测系统,探测器的输出信号与CO_2气体浓度有较好的线性关系,最低理论检测浓度约为29×10~(-6)。
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| 关 键 词： | 非共振光声 聚偏氟乙烯(PVDF)压电膜片 有限元分析 CO2气体测试 |
Fabrication and Application of Nonresonant Photoacoustic Detector Based on PVDF Diaphragm |
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| HE Guoming,HE Xiuli,GAO Xiaoguang,JIA Jian and LI Jianping.Fabrication and Application of Nonresonant Photoacoustic Detector Based on PVDF Diaphragm[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(6):973-977. |
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| Authors: | HE Guoming HE Xiuli GAO Xiaoguang JIA Jian and LI Jianping |
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