| 多晶氧化钨薄膜的制备及其红外反射调制性能研究 |
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| 引用本文： | 黄银松,章俞之,宋力昕,胡行方.多晶氧化钨薄膜的制备及其红外反射调制性能研究[J].无机材料学报,2002,17(6):1263-1268. |
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| 作者姓名： | 黄银松 章俞之 宋力昕 胡行方 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 上海 200050 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(59932040-2) |
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| 摘 要： | 通过工艺参数的优化,采用直流反应溅射工艺成功地制备了具有良好的电化学循环稳定性的多晶氧化钨薄膜.Raman散射光谱研究表明:随着锂离子和电子的共同注入,多晶薄膜中的W6+逐渐被还原为W5+.红外反射测试表明:电子注入薄膜后,成为自由载流子,使得氧化钨薄膜表现出一定的金属特性,具有一定的红外反射调制能力.采用该工艺制备的WO3/ITO/Glass结构的发射率可在0.261～0.589的范围内可逆调节.
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| 关 键 词： | 直流反应溅射 多晶氧化钨薄膜 Raman散射 红外反射 发射率 |
| 文章编号： | 1000-324X(2002)06-1263-06 |
| 收稿时间： | 2001-10-15 |
| 修稿时间： | 2001年10月15 |
Preparation and Infrared Reflectance Modulation Characteristics of Polycrystalline Tungsten Oxide Film |
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| HUANG Yin-Song,ZHANG Yu-Zhi,SONG Li-Xin,HU Xing-Fang.Preparation and Infrared Reflectance Modulation Characteristics of Polycrystalline Tungsten Oxide Film[J].Journal of Inorganic Materials,2002,17(6):1263-1268. |
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| Authors: | HUANG Yin-Song ZHANG Yu-Zhi SONG Li-Xin HU Xing-Fang |
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| Affiliation: | Shanghai Institute of Ceramics; Chinese Academy of Sciences; Shanghai 200050; China |
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| Abstract: | Polycrystalline tungsten oxide films with good electrochemical stability were prepared by dc reactive sputtering methods. The Raman spectra of the films show that W6+ is reduced to W5+ with Li+ and electrons co-intercalation. Intercalated electrons entere extended states of crystalline tungsten oxide and cause infrared reflectance. The emissivity of WO3/ITO/Glass can be reversible modulated between 0.261-0.589. |
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| Keywords: | dc reactive sputtering polycrystalline tungsten oxide films infrared reflectance |
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