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一种高精度基片预对准机构
引用本文:董同社.一种高精度基片预对准机构[J].电子工业专用设备,1997,26(1):35-38.
作者姓名:董同社
作者单位:电子工业部第四十五研究所
摘    要:主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析

关 键 词:基片  预对准  结构设计  工作原理  精度分析
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