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| 一种高精度基片预对准机构 | |
| 引用本文： | 董同社.一种高精度基片预对准机构[J].电子工业专用设备,1997,26(1):35-38. |
| 作者姓名： | 董同社 |
| 作者单位： | 电子工业部第四十五研究所 |
| 摘 要： | 主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析 |
| 关 键 词： | 基片 预对准 结构设计 工作原理 精度分析 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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