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一种高精度基片预对准机构

作者姓名：	董同社

作者单位：	电子工业部第四十五研究所

摘要：	主要介绍了一种高精度基片预对准机构的设计思想、机构组成、工作原理和精度分析
关键词：	基片预对准结构设计工作原理精度分析
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