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| 微组装关键工艺设备技术平台研究 | |
| 引用本文： | 王贵平.微组装关键工艺设备技术平台研究[J].电子工业专用设备,2014(1). |
| 作者姓名： | 王贵平 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第二研究所; |
| 摘 要： | 介绍了微组装设备技术发展现状,重点论述了微组装关键设备工程化技术、先进微组装工艺技术和微组装工艺设备标准规范等微组装设备技术平台研究。通过该技术平台的研究,提升了微组装关键设备的先进性、稳定性和工艺系统集成能力。 |
| 关 键 词： | 微组装工艺设备 工艺系统集成 技术平台 |
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