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| 激光气相合成Si_3N_4超细粉末的原理性实验装置 | |
| 作者姓名： | 赵秉纯 李道火 |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光机所 230031(赵秉纯)，中国科学院安徽光机所 230031(李道火) |
| 摘 要： | 本文叙述了为进行激光气相合成Si_3N_4超细粉末的原理性实验,根据合成反应时容器是冷壁的特点,研制的一套由玻璃材料制成的实验装置。装置的特点是:1.不需要机械加工,制造周期短, |
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