| Cd1-xZnxTe合金的退火研究 |
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| 引用本文： | 魏彦锋,方维政,刘从峰,杨建荣,何力,王福建,王兴军,黄大鸣.Cd1-xZnxTe合金的退火研究[J].半导体学报,2001,22(8):992-995. |
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| 作者姓名： | 魏彦锋 方维政 刘从峰 杨建荣 何力 王福建 王兴军 黄大鸣 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所!上海200083，中国科学院上海技术物理研究所!上海200083，复旦大学应用表面物理国家重点实验室!上海200433，复旦大学 |
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| 摘 要： | 用红外透射谱和喇曼散射谱研究了退火对 Cd1 - x Znx Te晶片中 Te沉淀的影响 .研究结果表明 ,红外透射谱只对大尺寸的 Te沉淀较为敏感 ,而喇曼散射谱却能够探测到样品中小尺寸的 Te沉淀 ,两者互为补充 .在 Cd气氛下对晶片进行退火处理 ,选择合适的退火温度和退火时间 ,可以有效地消除晶片中大尺寸的 Te沉淀 ,却难以消除晶片中小尺寸的微量 Te沉淀
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| 关 键 词： | CdZnTe 红外透射谱 喇曼散射 |
Study on the Annealing of Cd_(1-x) Zn_x Te Alloys |
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| WEI Yan-feng ,FANG Wei-zheng ,LIU Cong-feng ,YANG Jian-rong ,HE Li ,WANG Fu-jian ,WANG Xing-jun and HUANG Da-ming.Study on the Annealing of Cd_(1-x) Zn_x Te Alloys[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(8):992-995. |
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| Authors: | WEI Yan-feng FANG Wei-zheng LIU Cong-feng YANG Jian-rong HE Li WANG Fu-jian WANG Xing-jun and HUANG Da-ming |
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| Affiliation: | WEI Yan-feng 1,FANG Wei-zheng 1,LIU Cong-feng 1,YANG Jian-rong 1,HE Li 1,WANG Fu-jian 2,WANG Xing-jun 2 and HUANG Da-ming 2 |
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| Abstract: | The effect o f Cd-annealing on Cd 1-x Zn x Te alloys is studied by using IR transmission and micro-Raman spectroscopy.It shows that the IR transmittance is sensitive to the large size Te precipitates,while the Raman scattering can dete ct the small size Te precipitates.Via Cd-annealing,the large size Te precipita tes can significantly reduced under appropriate conditions,but it is quite diffi cult to eliminate the small size Te precipitates in the wafers. |
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| Keywords: | CdZnTe IR transmission spectroscopy Raman sc attering |
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