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| 蝶形电极结构载流子注入全内反射交叉脊形光波导开关 | |
| 引用本文： | 李宝军,刘恩科.蝶形电极结构载流子注入全内反射交叉脊形光波导开关[J].半导体学报,1997,18(4):281-285. |
| 作者姓名： | 李宝军 刘恩科 |
| 作者单位： | 西安交通大学微电子工程系 |
| 摘 要： | 分析了一种蝶彩电极结构交叉脊形光波导开关．这种结构可使波导交叉角增大，反射损耗降低，传输端的消光比提高，波导的数值孔径变大，且有较小的串音． |
| 关 键 词： | 硅 光波导开关 交叉脊形 电极结构 |
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